箱體結構特征外殼材料采用質(zhì)量鋼板，焊接折彎制作。內膽材料采用質(zhì)量不銹鋼SUS201#板，焊接折彎制作。箱體骨架1.采用角鐵加強制作，保持箱體內外各個(gè)面的承載強度；2.保留熱脹冷縮系數，可防止箱體變形。保溫材料采用100K加密型硅酸鋁保溫棉，具有不可燃燒，隔熱性強等特點(diǎn)，厚度為100mm。密封材料密封條采用硅膠條制作，可耐溫不變形。換氣裝置箱體上部設有進(jìn)氣口、排氣口，口徑為75mm”。門(mén)手動(dòng)雙開(kāi)門(mén)，兩側安裝鍍鉻加強型合頁(yè)，可防止門(mén)下垂，操作方便。電控箱電控箱安裝在箱體右側，方便操作。凹槽烘箱底部設置平板，可同時(shí)放置2部小車(chē)，方便小車(chē)進(jìn)出烘箱。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中?；⑶饏^半導體工業(yè)烤箱出售

尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無(wú)**廢氣收集管道時(shí)需做專(zhuān)門(mén)處理。設備配置試驗室用電源設備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動(dòng)范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時(shí)注意與墻面距離應大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò )路徑：透過(guò)txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監控要求：通過(guò)流量計+電池閥延時(shí)控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數據：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開(kāi)始時(shí)間、結束時(shí)間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設備前方或左右側）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門(mén)需要能自動(dòng)感測開(kāi)啟程序自動(dòng)調檔：（當cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動(dòng)執行）軟件支持SEMI自動(dòng)化標準SECS/GEM通訊接口無(wú)錫省電工業(yè)烤箱維修網(wǎng)鏈式還原氣氛隧道爐。

第二部分、烘烤爐技術(shù)性能說(shuō)明四:輸送系統線(xiàn)體技術(shù)規格烤爐側上下循環(huán)主輸送線(xiàn)：37017L*1777.8W*800-1280H數量:1條1、輸送線(xiàn)支架焊接框架結構，鏈條拖動(dòng)滾筒輸送方式;2、線(xiàn)體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線(xiàn)體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動(dòng);5、滾筒上安裝導向輪邊，直徑120MM,滾筒間距266.7MM;6、滾筒之間傳動(dòng)采用12A滾子鏈條傳動(dòng)7、烤爐內輸送寬度:810MM,滾筒總長(cháng)約1631MM;8、烤爐內滾筒線(xiàn)動(dòng)力按照6米段分布，共分為6段動(dòng)力;9、動(dòng)力采用0.37KW齒輪減速馬達驅動(dòng)，動(dòng)力布置在烤爐外側;10、電機使用歐邦/東元馬達，馬達配套減速機使用。11、滾筒線(xiàn)輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調速。下圖為烤爐側滾筒線(xiàn)的端面圖（含烤爐爐體）

二、送風(fēng)系統1.送風(fēng)方式：強制水平送風(fēng)循環(huán)2.鼓風(fēng)電機：中國臺灣產(chǎn)長(cháng)軸電機1HP380V4P配無(wú)塵多翼式耐高溫風(fēng)輪10.5”各2套,可通過(guò)變頻調整風(fēng)量3.內裝有可調導流風(fēng)板4.頂部加220V抽風(fēng)機三、無(wú)塵系統1.無(wú)塵等級：100級2.進(jìn)氣口附耐高溫過(guò)濾網(wǎng)99.93%效率0.3微米，并附壓差計，監測過(guò)濾器使用狀況。四、精度1.溫度范圍：室溫～200℃2.溫度波動(dòng)度：±1℃3.溫度均勻度：±5℃（空箱測試）五、溫控系統1.控制方式：PID+SSR(固態(tài)繼電器)出力2.加熱器材質(zhì)：無(wú)塵用散熱管形不銹鋼電熱器3.溫度控制器：日本富士微電腦自動(dòng)演算2組8段程序控制器*按鍵設定式數據輸入*溫度范圍依測試體而不同*PID動(dòng)作及自動(dòng)演算功能4.測溫體：K型感溫組件，測溫精確熱處理高溫熱風(fēng)循環(huán)烤箱。

四、設備說(shuō)明及結構設計1、工作原理步進(jìn)式砂芯烘烤爐採用風(fēng)路佈置管道的方式，即通過(guò)風(fēng)機將外部新鮮空氣經(jīng)燃氣燃燒機加熱後，送到預先佈設的加熱風(fēng)管，熱空氣進(jìn)入到烘烤爐內，自頂部吹進(jìn)烘烤爐，除吸進(jìn)少量新鮮空氣外，絕大部分熱空氣通過(guò)迴圈被繼續加熱利用，送入到烘烤爐內部，使得烘烤爐內溫度逐步升高，當溫度達到設定溫度時(shí)，燃氣燃燒機自動(dòng)調節大小火，使烤房?jì)葴囟缺３趾愣ā?設備總成l本烘烤爐的烘乾功能，且烘乾時(shí)具有自動(dòng)升溫、恒溫定時(shí)、以及具有運風(fēng)。該設備由爐體、迴圈風(fēng)機系統、加熱系統、安全系統及電控系統等組成。（選配：過(guò)濾系統、廢氣處理系統）3設備說(shuō)明3.1烘烤爐系統：烘烤爐主體材料必須具有保溫性能好，密封性能優(yōu)越的優(yōu)點(diǎn)。3.1.1烘烤爐保溫結構的側板和頂板外板均為鋼板，用型鋼做骨架保證室體的強度。烘烤爐壁板選用複合巖棉保溫板，板厚150mm，室體底部採用巖棉上設高品質(zhì)耐溫鍍鋅板。其內外面層為彩鍍鋼板，中間填充巖棉保溫材料，整體結構牢固可靠、外形美觀(guān)、保溫效果好，不會(huì )因受熱而發(fā)生形變，設備使用壽命長(cháng)。3.1.2結構裝置：烘烤爐為通過(guò)式，多層結構，在烘烤爐的二端設閘門(mén)，很大程度節能，降低成本，材料與側板同質(zhì)。鏈網(wǎng)穿桿輸送隧道爐?；窗残?xún)r(jià)比高工業(yè)烤箱

電路科高溫隧道精密烤箱?；⑶饏^半導體工業(yè)烤箱出售

4、技術(shù)參數：序號項目單位規格1砂芯烘乾烤爐結構型式1座多層通過(guò)式2加熱能源，正英20萬(wàn)大卡天然氣3工件加熱方式熱風(fēng)4送風(fēng)方式不可調節風(fēng)管運風(fēng)5烘乾時(shí)間min90(可調)6總功率55Kw依據設計圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環(huán)境溫度～150（可調）9溫度控制方式honeywell多組PID自動(dòng)獨立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動(dòng)方式大功率傳動(dòng)座12溫度控制honeywell數位式和機械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風(fēng)量m3/h依據設計圖紙五、配套設施說(shuō)明：1.設備土建基礎設施由甲方負責，乙方提供設備基礎圖紙。2.甲方負責施工現場(chǎng)的水電氣配套工作。3.甲方負責設備調試前把電、壓縮空氣、水等接到各設備用電、用氣點(diǎn)及用水點(diǎn)上，並派專(zhuān)人協(xié)調安裝調試工作。6.設備移交時(shí)，乙方需提供產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)、等技術(shù)資料。7.乙方負責無(wú)償培訓甲方安排的操作維護人員至能正常操作及維護所提供設備。8.以上規化是設計構思，具體定案后以圖紙和雙方負責人確定規格為準。六、優(yōu)化改善：1.側拉式閘門(mén)（配啟用開(kāi)關(guān)）2.電控：人機+PLC（規範配電）3.獨立電櫃厚板1.5T，IP54標準（防塵設計），雙門(mén)設計?；⑶饏^半導體工業(yè)烤箱出售

昆山臺上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司成立于2014-08-20年，在此之前我們已在工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗，深受經(jīng)銷(xiāo)商和客戶(hù)的好評。我們從一個(gè)名不見(jiàn)經(jīng)傳的小公司，慢慢的適應了市場(chǎng)的需求，得到了越來(lái)越多的客戶(hù)認可。公司現在主要提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐等業(yè)務(wù)，從業(yè)人員均有工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行內多年經(jīng)驗。公司員工技術(shù)嫻熟、責任心強。公司秉承客戶(hù)是上帝的原則，急客戶(hù)所急，想客戶(hù)所想，熱情服務(wù)。公司會(huì )針對不同客戶(hù)的要求，不斷研發(fā)和開(kāi)發(fā)適合市場(chǎng)需求、客戶(hù)需求的產(chǎn)品。公司產(chǎn)品應用領(lǐng)域廣，實(shí)用性強，得到工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐客戶(hù)支持和信賴(lài)。HOTTSP秉承著(zhù)誠信服務(wù)、產(chǎn)品求新的經(jīng)營(yíng)原則，對于員工素質(zhì)有嚴格的把控和要求，為工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐行業(yè)用戶(hù)提供完善的售前和售后服務(wù)。

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